光學(xué)微電子凈化工程目前已是半導(dǎo)體、精密制造、液晶制造、光學(xué)制造、線路板制造和生物化學(xué)、醫(yī)1藥、食品制造等行業(yè)不可或缺的重要設(shè)施。是將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微塵粒子、有害空氣、細(xì)菌等之污染物排除,并將室內(nèi)之溫濕度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音震動及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi),而所給于特別設(shè)計之密閉空間。
十萬級無塵車間的監(jiān)測
1、無塵車間系統(tǒng)的監(jiān)測主要是過濾器的更換周期,還有無塵車間對環(huán)境的濕度、溫度、新鮮空氣量、狀態(tài)、照度等都有嚴(yán)格的規(guī)定,保證了產(chǎn)品的生產(chǎn)質(zhì)量和人員工作環(huán)境的舒適。
2、整個無塵車間系統(tǒng)配有一套采用初效、中效、過濾器的三級空氣凈化系統(tǒng),控制潔凈區(qū)內(nèi)塵粒數(shù)等。作為末端過濾裝置過濾器決定著整個凈化系統(tǒng)的運行效果,無塵車間裝修因此對于過濾器的更換時間是非常重要的。
3、在無塵車間的裝修里,無論是安裝在凈化空調(diào)機組末端的大風(fēng)量空氣過濾器還是安裝在送風(fēng)口的空氣過濾器,這些必需要有準(zhǔn)確性的運行時間記錄和潔凈度及風(fēng)量作為更換依據(jù),如在常態(tài)的使用情況下,過濾器的使用壽命可以長達一年以上。
潔凈室應(yīng)設(shè)型的人、貨運物流安全通道。工作人員應(yīng)按照規(guī)定的清潔程序流程進到,并應(yīng)嚴(yán)控總數(shù)。針對原材料可在去除塵土后拆掉業(yè)務(wù)外包根據(jù)緩沖間或傳送柜送進。不一樣清潔級別的潔凈區(qū)物件則根據(jù)不銹鋼傳遞窗傳輸。正中間站宜建在中心部位,便于減少運輸間距。清潔區(qū)域內(nèi)不設(shè)與本職位不相干的管道。靈活運用左右或周邊的技術(shù)性夾層,全部公共管道、加工工藝管道的主桿管均在技術(shù)性夾層安裝。穿越重生路面、隔斷墻的管道盡量挨近應(yīng)用點并鋪設(shè)套管,套管內(nèi)的管道不應(yīng)有焊接,管道與套管中間應(yīng)有可叉的密封性對策。進到潔凈室的管道應(yīng)是金屬材質(zhì)。